イオンビーム加工はイオンを加速および集束してダイヤモンドに照射し，その衝突エネルギーを利用してダイヤモンドの表面加工を行う方法。工具としてのイオンの質量と，ダイヤモンドの原子の質量がほぼ等しいことによる衝突効率のよさを利用する加工法でもある。数十ev(電子ボルト)の運動エネルギーを持っているアルゴンイオンをダイヤモンド表面に照射すると、ダイヤモンドを構成する炭素原子が弾き飛ばされ、表面を削り取ることができます。イオンビームは比較的ダイヤモンド本体へのダメージが少ない事で注目を集めています。